光刻机用到了哪些技术

微米级雕刻的艺术光刻机，这玩意儿就像是个高科技的雕刻师，只不过它雕刻的不是木头或者石头，而是硅片。想象一下，你拿着一把超级迷你的雕刻刀，在一块小小的硅片上刻出复